天津同益环保设备有限公司为您介绍一种酸废气处理方法，该方法为在使废气与碱性的气体处理液接触，分离除去该废气中的酸性成分的酸性废气的处理方法中，使酸性废气与由季铵化合物的水溶液组成的气体处理液接触，从该酸性废气中分离除去酸性成分，该方法可以在不污染周围环境的清洁条件下容易而有效地处理含有酸性成分，特别是氟和氟化物的酸性废气，因此，它也可以在半导体工艺中的净室内实施，特别适用于处理半导体制造工艺中产生的含有氟和／或氟化物的酸性废气。

一种酸性废气的处理方法，在使废气与碱性的气体处理液接触，从该废气中分离除去酸性成分的酸性废气的处理方法中，其特征在于使酸性废气与由下列通式（１）所示的季铵化合物的水溶液组成的气体处理液接触，从而从该酸性废气中分离除去酸性成分。 ＊＊＊ （其中，式中的Ｒ↓〔１〕～Ｒ↓〔４〕表示相同或不同的Ｃ↓〔１～３〕的烷基或羟基取代的烷基，Ｘ表示ＯＨ↑〔－〕或１／２ＣＯ↓〔３〕↑〔２－〕）。