等离子体称为物质的第四形态，由电子、离子、中性粒子与自由基组成。低温等离子体有机废气处理净化器是利用等离子体。每秒以800万次到5000万次的速度反复的轰击异味气体分子，去激活、电离、裂解废弃的气中各种组成部分，从而发生氧化反应等一系列的化学反应，再经过多级净化，将有害物的转化为清洁的空气释放到大自然。

　　等离子有机废气处理净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，平均的储存能量约为5eV大量电子的作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。

　　在处理过程中，当有机气体进入有机废气处理净化器冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。有机废气处理净化器通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。

　　一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，有机废气处理净化器产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。

　　同时注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度登记，与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。